氣體供應櫃

原Gas Cabinet型標準品鋼瓶裝上後可單邊供應，另一側為待命，並且可設定即將用盡時切換，使氣體能達到不中斷的供應系統。

氣瓶櫃以安全及供氣品質為設計優先，搭配過流量開關、過壓洩壓閥、氣（液）偵測器等等，並搭配PN2及抽真空系統可操作自動淨化管路及高壓測漏功能確保使用安全，可設定供應壓力的，以semi S2規範樣本製作及監控，確保客戶在安全環境下操作使用。

• 功能：使用在腐蝕性、毒性、燃燒姓等具有危害性的氣體鋼瓶。
• 規格：標準兩側互相切換，兩側標準為各一支鋼瓶或外接大型鋼瓶組（Y or Tcylinder）。
• 外觀尺寸：依客戶需求設計。

氣瓶櫃構造分為兩部份以上：一為控制單元、二是氣體盤及箱體。

• 控制單元：內部 為PLC模式。

　　　　 　　　操作介面 為觸碰螢幕模式，並以符合國內防爆規範製作。

• 氣體盤及箱體：氣體盤面以最簡易流向設計並可依照客戶需求搭配設計流量，外接可擴大為大型供應系統。

　　　　　　　　　  並且依氣體特性配置氣、液體偵測器或灑水或滅火功能，外箱3mm含粉體靜電烤漆及防爆鋼絲玻璃視窗。

                      　　  氣體盤原件搭配以世界性品牌使用，例如：APTECH、FUJIKIN、KUZE、TEMTECH、Mykrolis…等等。

Gas Rack氣體供應架

• 功能：使用在惰性氣體、非危害性氣體的鋼瓶。

　　　　　  鋼瓶裝上後可單邊供應，另一側為待命，且可設定即將用盡時切換，使氣體達到不中斷的供應系統。

　　　　　  控制器可選擇配置乙太網路功能（PLC模式時）可遠端監視供應架的壓力以及警報和使用狀態。

• 規格：標準兩側互相切換，兩側標準為各一支鋼瓶，亦可直接配置大型系統，例如：惰性氣體鋼瓶集束。
• 外觀尺寸：依客戶需求設計。

氣瓶架構造分為兩部份：一為控制單元、二是氣體盤及箱體。

• 控制單元：內部 為繼電器模式、PLC。

　　　　　　　 操作介面 為按鈕式以及觸碰螢幕兩種模式。

• 氣體盤及置放架：氣體盤面以最簡易流向設計並可依照客戶需求搭配設計流量，並可外接擴充LO2+蒸發氣等擴大為大型供應系統。

                                  置放架為SS41粉體靜電烤漆，氣體盤元件搭配以世界性品牌使用，例如：APTECH、FUJIKIN、KUZE、TEMTECH、Mykrolis…等等。

VMB氣體分流箱

• 功能：分流並支配危害性氣體連結在廠區，使特殊氣（流）體能安全的被引導到生產機台或需求使用點。
• 規格：標準1進4出、1進8出、含擴充點、抽真空系統。
• 外觀尺寸：依客戶需求設計。

VMB構造分為兩部份：一為控制單元、二是氣體盤及箱體。

• 控制單元：內部 為繼電器模式、PLC、PCB（僅大量接單）。

　　　　　　　 ​操作介面 為按鈕式、觸碰螢幕、外部控制三種模式。並以符合國內防爆規範製作。

• 氣體盤及箱體：以最簡易流向並且依氣體特性配置氣、液體偵測器或灑水或滅火功能，外箱3mm含粉體靜電烤漆及防爆鋼絲玻璃視窗。

            　　　　　  氣體盤原件搭配以世界性品牌使用，例如：APTECH、FUJIKIN、KUZE、TEMTECH、Mykrolis…等等。

VMP氣體分流盤

• 功能：分流並支配惰性氣體、非危害性氣體，使氣（流）體能安全的被引導到生產機台或需求使用點。
• 規格：標準1進4出、1進8出、含擴充點。　
• 外觀尺寸：依客戶需求設計。
• 氣體盤：氣體盤原件搭配以世界性品牌使用，例如：APTECH、FUJIKIN、KUZE、TEMTECH、Mykrolis…等等。

廢液收集櫃

• 功能：製程生產中會產生許多廢液，可使用收集櫃搭配DRUM桶方便處理廠商清運，或是增加PUMP系統將收集櫃做為中繼站將廢液輸出至終端。
• 控制單元：內部 為PLC模式、方便各需求進行編輯。

　　　　　　 　操作介面 為觸碰螢幕模式。

• 箱體：可依廢液性質選用本體材質。
• 安全性：可依需求設置「溫度偵測系統」、「緊急CO2消防系統」、「火花消除器」、「防爆電子磅秤」、「消防受信系統」、「漏液警報系統」、「強制排風設計」、「本質安全開關」、「火焰制動裝置」等。